真空線性馬達的新標竿,Tecnotion G2真空無鐵心直線馬達系列基於與高端半導體製造商的多年真空應用合作開發,適用於強大和精確工藝的真空應用,真空環境中最大的挑戰之一是傳熱和運動。
Tecnotion G2真空無鐵心直線馬達封閉式設計針對低散熱和最佳安裝進行了優化。 這些特性使真空系統設計變得簡單,適合在一個系統中集成多個馬達。
UMV 線圈是真空額定線性馬達系列中最小的線圈。
由於長度較短,特別適用於低負載和狹小空間。
該系列非常適合於需要極高精度的龍門架或高動態、輕型應用中。
用於需要峰值力或低熱量輸出的真空應用。
例如在光刻和檢查解決方案中。 在較長的衝程中,可以組合 ULV線圈以節省磁鐵材料,但仍能實現高性能。
UXXV真空線性馬達系列中最強大、最高效的線圈。
在適合需要超高精度和最大力輸出的重型應用。例如在顯示面板應用中。
它的效率和高馬達常數允許同時輸出高力和低熱量輸出。。