型號 | MTS P | |||
柵距 | 1+1 mm | |||
解析度 (μm) | 10、5、1、0.5 | |||
精度 (μm) | ± 6 | |||
最大速度 | 0.6m/s (res. 0.5μm) 6m/s (res. 10μm) | |||
最大加速度 | 300 kHz (up to 500kHz on request) | |||
原點信號 | C = 固定距離 (1mm) | |||
輸出信號 | LINE DRIVER 差動輸出 |
型號 | MTS M | |||||||
柵距 | 2+2 mm | |||||||
解析度 (μm) | 1000 | 500 | 100 | 50 | 25 | 10 | 5 | 1 |
精度 (μm) | ± 15 | ± 10 | ± 8 | |||||
最大速度 | 1.2m/s (res. 1μm) 12m/s (res. 10μm) | |||||||
最大加速度 | 300 kHz (up to 500kHz on request) | |||||||
原點信號 | C = 固定距離 (2mm) E = 外部信號 Z = 在磁帶上 |
|||||||
輸出信號 | LINE DRIVER 差動輸出 |
型號 | MTS I | |||
柵距 | 2.54+2.54 mm | |||
解析度 (DPI) | 600、1200、2400、3000、4800、6000、9600、12000、24000 | |||
精度 (μm) | ± 10 | |||
最大速度 | 1.2m/s (24000 DPI) 14m/s (1200 DPI) | |||
最大加速度 | 300 kHz (up to 500kHz on request) | |||
原點信號 | C = 固定距離 (2.54mm) | |||
輸出信號 | LINE DRIVER 差動輸出 |
型號 | MTS H | |||||||
柵距 | 5+5 mm | |||||||
解析度 (μm) | 250 | 100 | 50 | 25 | 10 | 5 | 1 | |
精度 (μm) | ± 50 | ± 30 | ||||||
最大速度 | 1.2m/s (res. 1μm) 30m/s (res. 25μm) | |||||||
最大加速度 | 300 kHz (up to 500kHz on request) | |||||||
原點信號 | C = 固定距離 (5mm) E = 外部信號 Z = 在磁帶上 |
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輸出信號 | LINE DRIVER 差動輸出 |