雙軸線性精密平台 

雙軸線性精密平台


雙軸線性精密平台

代碼 Nano-Stage




 規 格:

有效行程 100 mm
編碼器解析度 50 nm / 0.1µm
全行程 直線度 / 平面度 25mm / 2.5µm
最大負載 7Kg
驅動力 32 N (使用 HR8馬達)
保持力 28 N (使用 HR8馬達)
外觀尺寸 75mm x 175(±50)mm
重現性 ±0.5µm  使用0.1µm 編碼器 (標準) 
±200nm 使用50nm  編碼器 (可選)
X-Y

 平台需搭配:

  品牌 型號
馬達 Nanomotion HR8
驅動器 Nanomotion AB5
光學尺 Jena LIA20
尺帶 Jena MV51-40NP
電源供應器   24VDC

 



*Nanomotion型錄及產品檔案請至 資料下載

 


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雙軸線性精密平台

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